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Intel: Mit High-NA-Chipfertigung zur Marktführung Intel D1X

ASML aus den Niederlanden ist der einzige Hersteller, der solche Belichtungsmaschinen in absehbarer Zukunft liefern kann. Er verwendet in High-NA-Systemen größere Spiegel und Linsen – etwa vom deutschen Hersteller Zeiss – mit steileren Brechwinkeln, um die Auflösung von 13 auf 8 Nanometer zu verfeinern. Chipfertiger erreichen dadurch feinere Transistorstrukturen in einem einzelnen Belichtungsschritt.

High-NA-Systeme sind größer als bisherige EUV-Belichter. Aufgrund der Höhe passen sie nicht in alte Reinräume.Für einen frühen Start hat sich Intel das erste High-NA-System von ASML vertraglich zusichern lassen. Ab 2025 soll diese EXE:5200 Belichtungsmaschine 220 Silizium-Wafer pro Stunde im D1X-Werk abarbeiten – jeweils einen Layer belichtet sie dabei. Das Problem, dass die ersten EUV-Systeme zu langsam für die Serienproduktion waren, soll behoben sein.

Ab 2025 will Intel so dann auch den besten Fertigungsprozess mit der höchsten Performance pro Watt bereitstellen. Ein Jahr vorher sollen die ersten Angstrom-Prozesse mit TSMC aufschließen, der da mit dem eigenen N2-Prozess fertigen dürfte. Anfang 2020 hatte Intel noch geplant,Intel hat sich ambitionierte Ziele gesteckt: Prozessparität mit TSMC ab 2024, Führung ab 2025.

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