Exportverbot: ASML darf nur noch alte Lithografie-Systeme nach China verkaufen Halbleiterindustrie
Lithografie-Systeme belichten Silizium-Wafer – sie sind der elementarste Teil in der Chipfertigung. Bisher durfte ASML keine Lithografie-Systeme nach China liefern, die mit extrem-ultravioletter Belichtungstechnik arbeiten. Diese sind spätestens seit der 5-Nanometer-Generation für einige Verarbeitungsschritte notwendig. ASML ist der einzige Anbieter entsprechender Maschinen.
Die neuen Exporteinschränkungen zielen jetzt auch auf Lithografie-Systeme ab, die mit tief-ultraviolettem Licht , also einer Wellenlänge von 193 statt 13,5 Nanometern arbeiten. Mit DUV-Belichtern hat derAlte DUV-Systeme darf ASML allerdings weiterhin nach China verkaufen. In der , dass bestimmte Maschinen ab einer "Auflösung" von 45 nm betroffen sind. Die Auflösung wird mit einer Formel ermittelt: Wellenlänge der Lichtquelle in nm mal dem K-Faktor , geteilt durch die numerische Apertur ., dass der Twinscan NXT:2000i und alle neueren Lithografie-Systeme betroffen sind.
Die Verordnung schränkt das Verbot auf Systeme ein, die eine Überdeckungsgenauigkeit von 1,5 nm oder besser aufweisen. Damit ist gemeint, wie genau sich die Silizium-Wafer und Belichtungsmasken übereinander ausrichten lassen. Je genauer die Justierung, desto niedriger ist die Fehlerquote im Herstellungsprozess. Der Twinscan NXT:2000i hat eine Überdeckungsgenauigkeit von weniger als 1,4 nm, der NXT:1800Di eine von 1,6 nm.
Laut ASML sollen sich die Verordnung zumindest dieses Jahr kaum auf den eigenen Umsatz auswirken. Das dürfte zum einen an den getroffenen Vorkehrungen liegen – die striktere Gesetzgebung deutete sich längst an und wird es zum September umgesetzt –, zum anderen hat ASML auch ohne chinesische Kunden einen milliardenstarken Produktionsrückstand. Theoretisch sind in Zukunft auch Ausnahmeregelungen mit Exportlizenzen möglich.
Malaysia Latest News, Malaysia Headlines
Similar News:You can also read news stories similar to this one that we have collected from other news sources.
Ab September: Neue Exportrichtlinien der USA für DUV-Scanner von ASMLASML steht schon länger zwischen den Fronten im US-China-Handelskrieg. Im September sollen schärfere Auflagen DUV-Systeme von ASML treffen.
Read more »
Nach Wagner-Aufstand in Russland: Expertin sieht China in großer SorgeDer Wagner-Aufstand hat auch das Bündnis zwischen China und Russland erschüttert. Die China-Expert:innen Marina Rudyak und Noah Barkin erklären, weshalb Xi Jinping hofft, dass Putin an der Macht bleibt.
Read more »
SZ-Nachhaltigkeitsgipfel: Was bringen Klimagipfel, Jennifer Morgan?Die Staatssekretärin glaubt, China überzeugt zu haben, ein bisschen jedenfalls.
Read more »
Spionage: Abgeschossener Ballon aus China nutzte US-TechnikDie Überreste des über den USA abgeschossenen chinesischen Ballons wurden untersucht. Er war vollgestopft mit US-Technik für Video- und Fotoaufnahmen.
Read more »
Wie China Einfluss auf die UN-Ernährungsorganisation nimmtAm Wochenende wird der Generaldirektor der Welternährungsorganisation FAO gewählt. Amtsinhaber Qu Dongyu ist der einzige Kandidat. Eine Recherche zeigt, wie er die Organisation umgebaut hat und für Interessen Chinas instrumentalisiert.
Read more »
Wie China die UN-Ernährungsorganisation FAO instrumentalisiertAm Wochenende steht die Wahl des Generaldirektors der Welternährungsorganisation FAO an. Einziger Kandidat: Amtsinhaber Qu Dongyu. Eine ARD-Recherche zeigt, wie er die Organisation umgebaut und auf Interessen Chinas ausgerichtet hat.
Read more »